蒸镀型钨舟

钨舟

简介

蒸发钨舟或镀膜钨舟是钨舟的别名,钨舟广泛应用于蒸镀行业。蒸镀型钨舟具有高熔点,低的饱和蒸气压和稳定的化学性能,被大量用于真空蒸发镀膜行业中电阻式蒸发源。蒸镀型钨舟作为真空镀膜设备中必不可少的部件,对钨舟的选择决定了镀膜的质量。当蒸镀型钨舟蒸发镀膜材料的时候,材料的熔点不能高于钨舟的熔点,否则就没有办法进行。

生产工艺

蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。蒸镀型钨舟的制备工艺与冲压型钨舟类似,区别之处是前者在舟盖上打了蒸汽孔。

用途

蒸镀型钨舟还广泛应用于电阻蒸发源。它的工作方法是,先将钨舟安装在两个电极中间,在钨舟中央加上材料,再慢慢的给电极进行通电,电流通过钨舟后,钨舟通电发热,这些低电压,大电流会使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了。

优点

蒸镀型钨舟的而外观与冲压型钨舟相似,不同之处在于该类型钨舟表面有蒸汽孔,有利于材料的升华和蒸发,提高镀膜效率。

缺点

蒸镀型钨舟在进行蒸镀时需要在较高真空的环境下工作。对工作环境要求比较高。

物理性能

颜色 熔点℃ 密度g/cm3 纯度% 公差(mm)
银白色 3407 19.35 99.95 ±0.1

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